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IKS-OPT2700电子束蒸发光学镀膜机

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  设备用途:大面积电子枪蒸发光电膜、光学膜和防指纹膜。

  爱科斯的IKS-OPT2700蒸发镀膜机为实现大量快速生产大面积光学膜镀膜和单层/多层表面改性膜而设计,本机为立式单腔体镀膜机,是一种基于电子枪蒸发的多层光学薄膜镀膜系统。本设备的主要产品蒸发沉积多层光学介质膜和防指纹膜等,例如,可见光彩色膜、铝反射膜、AF防指纹膜、低熔点有机物膜、可见光分光膜、可见光抗反射膜等,也可以为特定的简单光学特性膜系进行调试生产。

  设备特点

  1. 产品设计,由完美爱科斯技术与产品性能的无缝对接整合,创造可靠、稳 定、安全、智能化镀膜系统!

  2. 真空获得,重新优化设计的真空获得系统,满足快捷平稳真空环境!

  3. 蒸发源和离子源,合理的布局和高品质的加工技术,调试技术,实现工艺 进程自动调节,电子束创新结构与精确速率保障材料沉积更精确、稳定!

  4.自动运行控制系统,全新开发精确稳定系统!设置简单,操作简便!

  设备简述

  IKS-OPT2700是专为大面积光学薄膜镀膜而设计的电子束蒸发镀膜机。镀膜机系统由真空室、真空泵、真空检测与控制、衬底加热系统、电子束蒸发系统、离子源辅助沉积系统、电阻蒸发系统、膜厚监测系统、工作气体体积流量控制系统、工件旋转系统、PLC控制的自动镀膜等组成。

  蒸发材料常用稀有金属,如氟化钇、氟化镨、锗、硫化锌、氟化镁、二氧化钛、二氧化硅、氧化锆、钴、镓、硒等金属。铜、钼、硅、锗等金属是反射器光学材料中常用的材料。

  可涂装可见光彩色膜、铝反射膜、AF指纹膜、低熔点有机膜、可见光分光膜、可见光防反射膜等

  设备参数

炉体尺寸

Ф2700×H1670

工件架

φ2650*H420mm

真空度

极限真空:6×10-4Pa(24小时空载,不加热)

重量

8000kg,地板承重1000kg/m2

漏率

4×10-3Pa×L/S(氦捡漏)

温度

室温-250℃,温度均匀性±5%

工作真空

6*10-3Pa(自动工艺启动)

供电

三相电, 380V50Hz60-100KW

低真空

10 分钟10Pa

水冷

腔体流量大于4000l/h,泵组流量大于1800l/h 冷冻机流量大于1600l/h

高真空

6 分钟8×10-3Pa

温水

蒸发源1800l/h35-60

真空测量

全程监控,实时取点

占地

L6×w5.5×H3.5m

应用

眼镜、反光镜、手机背板、防护罩、光通讯、光学显示等

 

  应用

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